半導(dǎo)體電阻率測試儀工作原理,操作流程及使用方法
發(fā)布時間： 2023-09-21 14:52:58 點(diǎn)擊： 573
半導(dǎo)體電阻率測試儀工作原理,操作流程及使用方法
半導(dǎo)體電阻率測試儀是用于測量半導(dǎo)體材料電阻率、方塊電阻（薄層電阻）以及金屬薄層電阻的儀器。它根據(jù)四探針測試原理，可以用于片狀、棒狀等半導(dǎo)體材料的測量。這類測試儀具有測量精度高、范圍廣、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、使用方便、價格低等特點(diǎn)。
半導(dǎo)體電阻率測試儀的測量范圍通常包括：電阻率，方塊電阻（薄層電阻），以及薄層金屬電阻。數(shù)字電壓表是儀器的關(guān)鍵部分，其量程和分辨率會直接影響測量結(jié)果。恒流源也是儀器的關(guān)鍵部分，其輸出電流應(yīng)可調(diào)節(jié)。此外，測試探頭的機(jī)械游移率也是影響測量結(jié)果的關(guān)鍵因素。
半導(dǎo)體電阻率測試儀的測量結(jié)果可能會受到被測材料的尺寸、形狀、表面粗糙度等因素的影響，因此在使用時需要選擇合適的測試方法和測試條件。此外，為了保證儀器的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性，需要定期對儀器進(jìn)行校準(zhǔn)和維護(hù)。
常用的接觸式測量半導(dǎo)體材料電阻率的方法主要有兩種：兩探針法和四探針法。兩探針法利用探針與體電阻直接接觸，避免了與測試電阻的接觸從而消除誤差。四探針法直線四探針法是用針距約為毫米的四根探針同時壓在樣品的平整表面上，利用恒流探針通以一個小電流，然后用高輸入阻抗的電位差計(jì)、電子毫伏計(jì)或數(shù)字電壓表測量電壓。利用高阻值電壓計(jì)測得探針間的電壓值，從而根據(jù)公式為探針系數(shù)是常數(shù)，它可以測量樣品沿徑向分布的斷面電阻率
半導(dǎo)體材料電阻率測試儀的操作步驟可以按照以下進(jìn)行：
先備制好樣品，樣品一般需要在恒定的環(huán)境下放置一定的時間，來保證樣品性質(zhì)的一致性。
開機(jī)預(yù)熱，并準(zhǔn)備好電腦開啟PC軟件，及固定好測試平臺的調(diào)節(jié)，探頭。
將樣品放置于平臺上，并將旋轉(zhuǎn)上下調(diào)節(jié)旋鈕將探頭探針調(diào)節(jié)并壓著樣品表面。
此時需要在顯示器上設(shè)置好測試條件，包括：測試電壓，電流、探針間距、通訊方式選擇、探針間距等相關(guān)數(shù)據(jù)。
