半導(dǎo)體材料電阻率測試儀-四探針法工作原理及用途概述
發(fā)布時間： 2023-07-29 13:29:14 點(diǎn)擊： 505
半導(dǎo)體材料電阻率測試儀-四探針法工作原理及用途概述
四探針測試儀是一種高精度的電阻率測量儀器，其工作原理基于歐姆定律。它使用四個探針，分別對樣品進(jìn)行電流通入和采集電壓，通過計算來得到材料的電阻率。探針的間距和壓力會直接影響測試結(jié)果。通常，探針間距需要保持一定距離，具體間距根據(jù)樣品尺寸和測試精度要求而定。同時，探針的壓力也會影響樣品的導(dǎo)電性能，過大的壓力會導(dǎo)致樣品表面產(chǎn)生劃痕，影響測試結(jié)果。
四探針測試法相對于傳統(tǒng)的兩探針測試法更加準(zhǔn)確和可靠。由于傳統(tǒng)的兩探針測試法會受到電路電阻和接觸電阻的影響，導(dǎo)致測量誤差，而四探針測試法則能夠減少這些因素的干擾，提高測試結(jié)果的準(zhǔn)確性和可信度。
四探針測試法采用的是兩個電流探針和兩個電壓探針相隔一定距離分別連接被測樣品表面，電流源送出直流電流，電壓探頭分別檢測樣品表面的電勢差，利用歐姆定律推算出樣品各點(diǎn)的電阻率。在測試半導(dǎo)體材料時，四探針法可以測量材料的電阻率、方阻等參數(shù)，這些參數(shù)可以用來表征半導(dǎo)體的導(dǎo)電性能和載流子遷移率等。例如，對于晶體硅材料，通過四探針法可以測量其電阻率、少子壽命、載流子遷移率等參數(shù)，從而評估其質(zhì)量和性能。
半導(dǎo)體材料的電阻率介于金屬和絕緣體之間，通常在1mΩ·cm至1GΩ·cm的范圍內(nèi)。不同的半導(dǎo)體材料具有不同的電阻率，其電阻率通常受到材料本身的結(jié)構(gòu)、組成元素、晶向以及溫度等因素的影響。半導(dǎo)體材料的電阻率可以用來評估其質(zhì)量和性能，如在晶體硅材料中，通過測量其電阻率、少子壽命和載流子遷移率等參數(shù)，可以評估其質(zhì)量和性能。
半導(dǎo)體材料電阻率的測試方法通常有四種：四探針法、兩探針法、伏安法和橋接法。其中，四探針法是常用的方法之一，其優(yōu)點(diǎn)是不需要較準(zhǔn)，測量精度高，可以測量較薄的樣品，并且可以測量較小范圍的電阻率。兩探針法相對于四探針法更加簡單和方便，但是需要較準(zhǔn)，并且測量精度較低。伏安法和橋接法通常用于測量高電阻率的樣品，但是這些方法的測量精度較低，并且需要較長的時間進(jìn)行測量。
總之，不同的電阻率測試方法具有不同的優(yōu)缺點(diǎn)，根據(jù)實際需要選擇合適的測試方法。在實驗室或生產(chǎn)過程中，通常使用自動化設(shè)備進(jìn)行電阻率測試，以確保測試結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性。
